職務内容 【職務内容】

■評価システム製品本部 光学応用システム設計部にて、

半導体ウェーハ検査用の光学式検査装置における電気・制御系の設計開発を主導する主任エンジニアとしてご活躍いただきます。光学モジュールを中核とした検査装置に対し、自ら設計・開発業務を担当しながら、担当テーマや小規模チームを技術的に取り纏めるプレイングリーダの役割を担っていただきます。



＜具体的な設計業務＞

・制御システム全体のコンセプト設計・仕様検討

・ウェーハ搬送・スキャンを行う高精度・高速ステージ制御システムの設計・開発
（全体制御シーケンス，モータ制御、位置決め制御、フィードバック制御）

・装置全体を制御する制御用基板（FPGA搭載基板、制御・I/O基板等）の回路・FPGA設計

（デジタル／アナログ混在回路設計、電源設計含む）

・計測データ取得のためのプログラミングおよび、取得データの解析・評価



・主任エンジニアとしての役割

担当テーマにおける技術的な判断・設計方針の立案

若手エンジニアへの技術指導、設計レビューの主導

小規模チーム（2～5名程度）や担当開発テーマの進捗管理・取り纏め



●変更の範囲

会社の定める業務



【担当装置例】

・暗視野式パターン付きウェーハ欠陥検査装置 DI4600

・暗視野式パターン無しウェーハ欠陥検査装置 LS9600



◆ウェーハ表面検査装置

パターン付きシリコンウェーハ上に存在する異物や欠陥を検査する装置です。レーザーを当てて散乱光を検知し、ウェーハ上にある異物（ごみ）や様々な欠陥（段差等）を高感度かつ高速に検査します。

当社は半導体検査装置において電子線やレーザーなど光学モジュールを使用した精密な表面検査技術を持っており、当部署ではこのうち特に光学のコア技術をもとにした次世代検査装置の開発を担っています。光を使用することによりスピーディな検査が可...